抽速l / s N 2:250,He:220,H 2:200 压缩率 N 2:2 x 10 8,He:1 x 10 5,H 2:1 x 10 4 基本压力 带有建议的机械前泵:2 x 10 -10 mbar(1.5 x 10 -10托) 和推荐的隔膜前泵:2 x 10 -9 mbar(7.5 x 10 -10 托) 进气法兰 DN 100 ISO DN 100 CFF(外径6英寸) 前级法兰 NW16 KF 转速 56,000转 启动时间 <3分钟 推荐前级 两级旋转泵:SD 40 隔膜泵:MDP 30 工作位置 任何 散热要求 自然空气对流(低气体负荷) 强制空气或水可选 烘烤温度 入口法兰处为120°C(CFF版本) 振动水平(位移) 入口法兰处<0.01μm 重量磅(公斤) ISO:7.5(3.4);CFF:11.4(5.2)