Edwards 爱德华EPX180L半导体干式真空泵

zui高速度	170 m 3 h -1 / 105 ft 3 min -1 / 2,835 l / min -1
极限真空	<1 x 10 4 mbar / <7.5 x 10 -5 / <1 x 10 -2 Pa托
预热时间（达到标称性能）    	30分钟
进气法兰	ISO63
出口法兰	NW25
噪声	<59分贝（A）
水接头	3/8 in快速
zui小冷却水流量	2升/分钟-1
冷却水温度	15-35°C
电力供应	200/208 V，50/60 Hz三相
zhonji力量	1.4千瓦
电机额定功率	3.0千瓦
蒂姆	C3
重量	43.5公斤