轴承座 杂种 压缩率 氩气 > 1 x 10 11 高2 3 x 10 5 他 3 x 10 7 N 2 > 1 x 10 11 冷却方式,可选 空气/水 冷却方式,标准 对流 冷却水消耗 75升/小时 冷却水温度 5-25°C / 41-77°F / 278-298°K 电子驱动单元 TC 110 法兰(中) DN 63 ISO-K 法兰(向外) DN 16 ISO-KF / G 1/4英寸 全转速下的气体通过量 氩气 0.22 hPa l /秒 高2 10 hPa升/秒 他 1.84 hPa l /秒 N 2 0.66 hPa l /秒 I / O介面 RS-485,远程 安装方向 任何 工作电压 24(±5%)直流电压 防护类别 IP54 抽速 氩气 32升/秒 高2 20升/秒 他 24升/秒 N 2 32升/秒 转速±2% 90,000 rpm / 90,000分钟-1 转速可变 50-100% 启动时间 1.7分钟 声压级 ≤48分贝(A) 极限压力(PNEUROP) <1 x 10 -7 hPa / <7.5 x 10 -8托/ <1 x 10 -7 mbar 无气镇的极限压力 1 x 10 -7 hPa / 7.5 x 10 -8托/ 1 x 10 -7 mbar 排气连接 G 1/8英寸 重量 2公斤/4.41磅