Pfeiffer SplitFlow 50 普发涡轮分子泵

轴承座	杂种
Ar的压缩比（级间抽气/前真空）	1.5·103
H2的压缩比（级间泵送/前真空）	2·101
He的压缩比（级间抽气/前真空）	5·101
N2的压缩比（级间泵送/前真空）	9·102
Ar的压缩比	2.1·1010
H2压缩比	1.3·106
He的压缩比	1.8·106
氮气压缩比	1·108
冷却方式，可选	空气/水
冷却方式，标准	对流
冷却水流量	75升/小时
冷却水流量，ZUI大值	75升/小时
冷却水流量，ZUI小值	75升/小时
冷却水温度	5-25°C | 41-77°F | 278-298千
电子驱动单元	TM 700
法兰（中）	DN 63 ISO-K
法兰（级间泵送）	M5
法兰（向外）	G¼“
氩气在全转速下的气体通过量	0.46 hPa·l /秒
H2全转速下的气体通过量	110 hPa·l /秒
氦气全转速下的气体通过量	7.3帕·升/秒
N2全转速下的气体通过量	1.8 hPa·l /秒
I / O介面	RS-485，远程
安装方向	任何
工作电压：V DC	24（±5％）直流电压
防护类别	IP54
Ar的抽速（级间抽速）	0.13升/秒
H2的抽速（级间抽速）	0.3升/秒
He的抽速（级间抽速）	0.16升/秒
N2的抽速（级间抽速）	0.15升/秒
Ar的抽速	53升/秒
H2的抽速	21升/秒
氦气抽速	27升/秒
N2的抽速	53升/秒
转速±2％	49,000转/分| 49,000分-1
启动时间	1.3分
声压级	≤48分贝（A）
根据PNEUROP的极限压力	<4·10-7 hPa | <3·10-7托| <4·10-7毫巴
无气镇的极限压力	4·10-7 hPa | 3·10-7托| 4·10-7毫巴
排气连接	G 1/8“
重量	2.3公斤| 5.07磅